半导体晶圆电镀工艺,电镀金(新型无氰)
半导体晶圆的电镀是晶圆制造中不可缺少的一步,其中镀金工艺尤为突出。
晶圆电镀金可以有效提高晶圆表层的稳定性,耐磨性,导电性,今天介绍一种环保无氰的晶圆电镀金工艺,这种工艺已经是半导体晶圆镀金行业的趋势。
要实现无氰镀金,核心需要攻破的难题就是电镀金的稳定性,镀层的厚度,均匀度的问题。
天跃通过技术攻克,解决了这些难题,一种安全环保,稳定,均匀的半导体晶圆电镀工艺(无氰)便诞生了。
工艺本质与传统氰化物电镀金并无太大差别,但是不需要使用氰化物,同时保证了稳定的电镀,镀层均匀,厚度可达5μm以上。
这一工艺的推广,将助力于国产半导体工艺的发展,为芯片制造打下坚实的基础!